Q. sio2 세정 및 식각시 boe 농도

답변 6

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  안경공대남삼성전자

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  일치

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  안녕하세요. BOE 농도를 단순히 DIW로 희석해서 쓰지 않는 이유는 식각 속도만의 문제가 아니라 공정 안정성 때문입니다. BOE는 HF와 NH4F의 혼합 용액이고, NH4F가 HF 농도와 pH를 어느 정도 안정적으로 유지해주는 역할을 합니다. 그래서 100:1, 300:1, 50:1처럼 정해진 농도의 BOE를 사용하면 식각 속도, 선택비, 균일도, 표면 상태를 비교적 안정적으로 관리할 수 있습니다. 반대로 임의로 DIW를 섞어 희석하면 단순히 식각 속도만 느려지는 것이 아니라, HF/NH4F 비율과 pH가 바뀌면서 식각 균일도나 재현성이 흔들릴 수 있습니다. 현업에서는 한 번 잘 되는 것보다 여러 Lot에서 같은 결과가 반복되는지가 더 중요하기 때문에, 검증된 농도와 레시피를 사용하는 경우가 많습니다. 즉 BOE 농도는 단순히 “식각 속도 조절용”이라기보다 식각 Rate, Uniformity, Selectivity, Particle, Surface Roughness까지 같이 관리하기 위한 공정 조건이라고 보시면 됩니다. 더 궁금한 점 있으시면 답글 남겨주세요. 아는 범위 내에서 최대한 도움드리겠습니다. 답변이 도움이 되셨다면 채택도 꼭 부탁드립니다.

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  합격 메이트삼성전자

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  일치

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  멘티님. 안녕하세요. ​현업에서 BOE 농도를 100:1이나 300:1 등으로 고정하여 사용하는 이유는 양산 공정에서 식각 속도를 일정하게 유지하고 제어하기 위함합니다. 단순히 BOE에 DIW만 희석하면 불산이 소모되면서 pH와 식각 속도가 계속 변하기 때문에 안정적인 공정 진행이 불가능합니다. ​따라서 완충제 역할을 하는 완충 용액을 정해진 비율로 혼합하여 수소 이온 농도를 일정하게 유지하는 방식을 사용합니다. 이러한 고정된 혼합 비율을 통해 미세한 소자 패턴의 두께를 균일하게 깎아내고 대량 생산 시 공정 신뢰성을 확보합니다. ​응원하겠습니다.

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• P

  PRO액티브현대트랜시스

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  BOE는 단순히 희석해서 식각 속도만 조절하는 용액이 아닙니다. 현업에서 50:1, 100:1, 300:1과 같이 정해진 농도의 BOE를 사용하는 이유는 식각 속도뿐만 아니라 공정의 안정성과 재현성을 확보하기 위해서입니다. BOE는 불산(HF)과 불화암모늄(NH4F)이 일정한 비율로 혼합된 완충용액입니다. 불화암모늄은 용액 내 불소 이온 농도를 안정적으로 유지해 주기 때문에 시간이 지나도 식각 속도가 크게 변하지 않는 특징이 있습니다. 만약 BOE를 DI Water로 단순 희석하면 HF 농도는 낮아질 수 있지만 완충 작용도 함께 약해져 용액의 화학적 평형이 변하게 됩니다. 그 결과 식각 속도가 단순히 느려지는 것이 아니라 시간에 따라 속도가 달라지거나 균일도가 떨어지고, 웨이퍼 간 재현성이 나빠질 수 있습니다. 또한 BOE의 농도는 식각 선택비와 표면 품질에도 영향을 줍니다. 예를 들어 얇은 산화막을 제거하거나 미세 패턴을 형성하는 공정에서는 식각 속도보다 균일성과 오버에칭 방지가 더 중요하기 때문에 공정 목적에 맞는 50:1, 100:1, 300:1 등의 표준 농도를 사용합니다. 이러한 농도는 장기간의 공정 개발과 양산 검증을 거쳐 최적화된 조건이기 때문에 임의로 희석해서 사용하는 경우는 거의 없습니다. 결국 현업에서 정해진 BOE 농도를 사용하는 이유는 단순히 식각 속도를 조절하기 위해서가 아니라, 식각 속도와 균일도, 선택비, 표면 상태, 공정 재현성까지 모두 일정하게 유지하기 위해서입니다. 따라서 DI Water로 희석하면 이론적으로는 식각 속도를 낮출 수 있지만, 양산에서 요구하는 안정적인 공정 특성을 보장하기 어렵기 때문에 표준화된 BOE 농도를 사용하는 것입니다.

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• 흰

  흰수염치킨삼성전자

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  안녕하세요. 멘토 흰수염치킨입니다. 모든 조건을 다르게 선택하면 관리도 어렵고 낭비가 많아요 최대한 조건을 필요한만큼으로 줄여서 사용해야돼요 도움이 되었으면 좋겠네요. ^_^

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• 탁

  탁기사삼성전자

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  불산에boe,섞어서 제품마다 etch rate와 uniformity를 유지하기 위해 비율에 맞게 희석하게되는데, ph를 유지하기 위해 설비밑에 여러 배관들을 깔고 탱크도 다르게 유지합니다. 즉 공급탱크에서 원활히 농도를 맞춰 공급하기 위해 설비쪽에서 모니터링 지속적으로 하고 알람뜨면 조치하고 이러한 업무를 하는데 diw를 무작정 섞어버리면 이런 룰이나 탱크 순환 cycle등 모두 깨지게되고 환경오염이슈도 생기고..이러한 복합적인 이유로인해 농도를 지속적으로 동일하게 유지하기 위해 수많은 돈을 쓰고 협력체와 협력하고 이러한 업무를 하는것이죵 ㅎ

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• 3

  3분커리er삼성전자

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  현업에서 사용하는 조성비는 대외비입니다 죄송합니다 취업 건승 기원드립니다

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